渦輪分子泵——真空泵中的領(lǐng)導(dǎo)者

真空技術(shù)的應(yīng)用，使大量高科技產(chǎn)品走入人們的日常生活。事實(shí)上，在研發(fā)和工業(yè)領(lǐng)域的大量應(yīng)用都需要極低的絕對(duì)壓力，即高真空環(huán)境。得名于渦輪機(jī)系列產(chǎn)品，渦輪分子泵代表著全球領(lǐng)先的技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)。轉(zhuǎn)速高達(dá) 90,000 rpm 的高速轉(zhuǎn)子能產(chǎn)生應(yīng)用所需的壓力條件，從而產(chǎn)生在高真空和超高真空范圍內(nèi)的高達(dá) 10-11 mbar 的真空度。

普發(fā)真空渦輪分子泵代表著安全的性能

現(xiàn)代渦輪分子泵能獲得超過(guò) 400 米/每秒的圓周速度。這將轉(zhuǎn)化為相應(yīng)的高轉(zhuǎn)子動(dòng)能，當(dāng)轉(zhuǎn)子和定子相觸，動(dòng)能將在瞬間傳輸?shù)酵鈿ず捅玫牡鬃?。因此，泵外殼的穩(wěn)定性具有至關(guān)重要的作用，需經(jīng)過(guò)理論和實(shí)際的雙重檢驗(yàn)。普發(fā)真空的渦輪分子泵已通過(guò)UL 61010和/或Semi S2認(rèn)證。除機(jī)械安全性能外，該認(rèn)證同時(shí)也包括了防火和轉(zhuǎn)速過(guò)高的雙重保護(hù)，這向認(rèn)證是由普發(fā)真空與TüV Rheinland共同開(kāi)創(chuàng)的。

優(yōu)化客戶利益

真空對(duì)于整個(gè)生產(chǎn)流程成功與否往往起著決定性作用。一旦出現(xiàn)缺陷批次或者生產(chǎn)失敗，根據(jù)用途不同，造成的損失高達(dá)數(shù)百萬(wàn)歐元。因此，所有安裝部件具有較高可靠性變得越來(lái)越重要。如今，渦輪泵的工作時(shí)間常高達(dá)十萬(wàn)小時(shí)以上。在這段時(shí)間內(nèi)，應(yīng)盡可能減少由于維護(hù)或服務(wù)作業(yè)而造成的計(jì)劃內(nèi)中斷。該泵具有可以在現(xiàn)場(chǎng)更換軸承或機(jī)油的特點(diǎn)。結(jié)合該特點(diǎn)，使其具有極高的可用性。渦輪內(nèi)置有集成驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備，從而顯著降低了電纜支出。較先進(jìn)的驅(qū)動(dòng)技術(shù)將能耗降至較低，控制方案也多種多樣。符合防護(hù)等級(jí) IP 54 的結(jié)構(gòu)使該泵特別適合于工業(yè)用途。結(jié)構(gòu)形式緊湊，即使在狹窄空間，依然可以安裝使用。為了保持低成本，可以為同一尺寸的泵選擇不同的驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備 可以為同一尺寸的泵選擇不同的驅(qū)動(dòng)電子設(shè)備。重量方面也在持續(xù)改進(jìn)：一臺(tái)抽速達(dá) 250 l/s 的渦輪泵，其重量?jī)H為 6 kg。普發(fā)真空渦輪泵廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域不僅涵蓋分析儀器、真空處理和半導(dǎo)體技術(shù)，還包括涂層、科研和工業(yè)用途。

應(yīng)用

在很多產(chǎn)品制造和工藝研究領(lǐng)域中，真空技術(shù)發(fā)揮著決定性的作用。渦輪分子泵對(duì)于制造極純工藝條件具有至關(guān)重要的作用。
 

應(yīng)用范圍覆蓋多個(gè)領(lǐng)域：

分析儀器（質(zhì)譜分析法、顯微鏡等）

半導(dǎo)體行業(yè)（電子組件、集成電路、太陽(yáng)能電池等）

光學(xué)/玻璃行業(yè)（隔熱保護(hù)、防反射、反射、濾光鏡鍍膜等）

真空鍍膜技術(shù)*（表面保護(hù)、裝飾土層、顯示技術(shù)、屏幕等）

真空冶金（真空焊接、真空燒結(jié)、真空合金、真空爐等）

泄漏檢測(cè)（真空系統(tǒng)、機(jī)車燃料箱、安全氣囊、真空包裝行業(yè)）

科研設(shè)施（核粒子物理學(xué)、核聚變研究、激光應(yīng)用等）

燈具行業(yè)（燈具生產(chǎn)等）

HiPace代表著抽速范圍從10-2050升/秒的全系列緊湊且性能卓越的 渦輪分子泵。其具有高性價(jià)比和安裝角度的靈活性。經(jīng)過(guò)實(shí)踐證明 的軸承系統(tǒng)提供了卓越的可靠性。革命性的轉(zhuǎn)子設(shè)計(jì)使其具有更出 色的抽速，更好的前級(jí)泵兼容性和更大的氣流量，對(duì)于小分子氣體 具有更高的壓縮比。
 

什么是復(fù)合軸承？
復(fù)合軸承就是將前級(jí)真空端的陶瓷球軸承和高真空端的永磁徑向軸承相結(jié)合的設(shè)計(jì)。
 

該軸承技術(shù)無(wú)需電磁鐵，使用壽命長(zhǎng)，只需每隔約4年維護(hù)保養(yǎng)一次，并且可以在30分鐘內(nèi)現(xiàn)場(chǎng)完成陶瓷球軸承和油棉的更換。
 

快速啟動(dòng)時(shí)間

HiPace的啟動(dòng)時(shí)間遠(yuǎn)快于其他同類產(chǎn)品。這使得其能更快的啟動(dòng)渦 輪分子泵。這會(huì)給您的生產(chǎn)帶來(lái)無(wú)可估量的經(jīng)濟(jì)效益。此外，我們 提供擴(kuò)展功能，可以為您實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程數(shù)據(jù)的讀取，比如泵的溫度等 等。先進(jìn)的自診斷系統(tǒng)使得泵的有效性和技術(shù)服務(wù)支持變得更有保 障。

高性能

基于HiPace精益求精的設(shè)計(jì)，我們的產(chǎn)品正引領(lǐng)著行業(yè)。以 HiPace外殼為例，其特殊材料使得泵體的重量輕到了極致，從而擴(kuò) 大了其應(yīng)用范圍。而其轉(zhuǎn)子創(chuàng)新的幾何設(shè)計(jì)使得渦輪分子泵的運(yùn)行 更安靜，顯著改善氣體負(fù)荷，建立了分子泵轉(zhuǎn)子的新標(biāo)準(zhǔn)。

HiPace? 1200

具有較高 1.300 l/s 抽吸能力的高性能渦輪泵

產(chǎn)品描述

對(duì)于重氣體同樣擁有高氣體通過(guò)量

準(zhǔn) S2 和 UL/CSA 認(rèn)證

運(yùn)行數(shù)據(jù)監(jiān)控形成的較高運(yùn)行安全性

適用于輕氣體和重氣體的高抽吸能力

高工藝適用性，防止進(jìn)入顆粒

標(biāo)準(zhǔn)

高工藝適用性，防止進(jìn)入顆粒

腐蝕性

與帶涂層轉(zhuǎn)子和抗侵蝕性氣體材料共用時(shí)，尤其適合侵蝕性氣體

適用于侵蝕性氣體環(huán)境應(yīng)用

HiPace? 1200，具有 TC 1200，DN 200 ISO-K

帶電源件的集成驅(qū)動(dòng)電子裝置 TC 1200

冷卻類型：水冷裝置

帶有電動(dòng)氣體密封閥 24 V DC的集成型氣體密封系統(tǒng)

保護(hù)類型：IP54

接口：RS-485，遠(yuǎn)程遙控（Profibus/DeviceNet 備詢）

廣泛的配件擴(kuò)展使用范圍

具有較高 1250 l/s 對(duì)于 N2 抽吸能力的高性能渦輪泵

法蘭 DN 200 ISO-K

技術(shù)參數(shù)