? ?渦輪分子泵的極限壓力p1能用泵出入口壓力p2除于泵的壓縮比K獲得，即(2-24)? K? 渦輪分子泵的K值，隨含量的提升而擴(kuò)大，它對(duì)油蒸汽的壓縮比尤其大? 因此可以得到 氮氧化合物環(huán)境污染較少的清理真空泵，但針對(duì)輕的汽體如氫的壓縮比卻很 低，因此 前級(jí)氫分壓電路是影響泵的極限壓力較重要的要素，氫的分壓電路關(guān)鍵來(lái)自前級(jí) 真空泵運(yùn)行時(shí)油裂化造成氫的影響，不一樣型號(hào)的前級(jí)機(jī)械設(shè)備油閥，對(duì)分子泵的極限壓? 力的影響遙遠(yuǎn)超過(guò)泵軸承潤(rùn)滑油的影響。高壓縮比的分子泵，歷經(jīng)烤制后能得到 ? 1×10=6~1×10-9Pa的真空值，氫占?xì)埩羝w成份的90%之上。

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圖226所顯示為不在烤制標(biāo)準(zhǔn)下，極限壓力1.3×107Pa時(shí)渦輪分子泵的殘氣 質(zhì)譜分析。能夠看得出水為關(guān)鍵排氣成份，約占總供氣量的80%,并在品質(zhì)17處有一個(gè)裂 解殘片較小的伴峰。品質(zhì)28和44峰是熱鎢絲裂化潤(rùn)滑脂造成的一氧化碳和二氧化碳。伴隨著抽真空時(shí)間的增加，水峰將慢慢減少，氫峰慢慢變成殘留汽體峰頂。影響渦輪分子泵極限壓力的另一個(gè)關(guān)鍵緣故是前級(jí)壓力不可以過(guò)高，渦輪分子泵的前級(jí)排氣管壓力和前級(jí)泵的進(jìn)風(fēng)口壓力不應(yīng)該超出65~130Pa。

圖227所顯示為泵效為200L/s的渦輪分g? 子泵其前級(jí)壓力p1對(duì)泵的極限壓力pm的影響。1能夠看得出，前級(jí)壓力從1Pa擴(kuò)大到130Pa時(shí)，泵的極限壓力不會(huì)受到影響，當(dāng)前級(jí)壓力從65Pa提前級(jí)壓力高到130Pa時(shí)，泵的極限壓力從4×105Pa增? 加進(jìn)2×10-3Pa，前級(jí)壓力從130Pa再次提升 到200Pa時(shí)，泵的極限壓力快速擴(kuò)大三個(gè)量級(jí)，? 這時(shí)受泵的抽真空葉列中汽體流動(dòng)性情況轉(zhuǎn)變的影響，泵的壓縮比從K=104降至? K=102。