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?? 為了更好地考慮極高真空泵分壓力精確測量的應(yīng)用規(guī)定，作業(yè)者應(yīng)依據(jù)質(zhì)譜計(jì)關(guān)鍵性能指標(biāo)? 挑選適度的儀器設(shè)備。真空泵質(zhì)譜計(jì)的性能指標(biāo)一般包含：質(zhì)量范圍、分辨本領(lǐng)、分壓力? 敏感度、較少可檢分壓力、較大 工作中壓力、掃描速率和較少可檢濃度值等項(xiàng)。? (1)質(zhì)量范圍? 質(zhì)量范圍就是指質(zhì)譜記到具備一定敏感度和分辨本領(lǐng)的標(biāo)準(zhǔn)下，儀器設(shè)備可以工作中的? 較少質(zhì)量數(shù)到較大 質(zhì)量數(shù)中間范疇，用質(zhì)量數(shù)M表明。質(zhì)量范圍的低限是用真空泵? 系統(tǒng)軟件殘留汽體的譜峰來明確，一般，采用分子態(tài)氫氧根離子的質(zhì)量數(shù)M=1u列入品質(zhì)? 范疇低限(較少質(zhì)量數(shù))。質(zhì)量范圍限制是用精確測量試品汽體譜來明確，試品汽體應(yīng)? 盡可能挑選含量(或相對原子質(zhì)量)貼近質(zhì)量范圍限制。在沒有適度試品汽體時(shí)，可依照? 質(zhì)譜計(jì)的品質(zhì)掃描主要參數(shù)和品質(zhì)平均誤差的關(guān)聯(lián)，依據(jù)掃描主要參數(shù)的標(biāo)值用外推方式測算? 出去
在極高直空分壓力精確測量中，質(zhì)借計(jì)此項(xiàng)指標(biāo)值的挑選是根據(jù)被測汽體成分而明確? 的，必須考慮到極高真空泵的殘留汽體和被檢試品汽體成分的含量尺寸2個(gè)要素。質(zhì)? 量范疇的低限應(yīng)確保對H2的M=1u的品質(zhì)峰靠譜精確測量質(zhì)量范圍限制的挑選根? 被測汽體的較大 質(zhì)量數(shù)明確，極高真空泵的殘留汽體精確測量的較大 質(zhì)量數(shù)挑選M=? 50u就可以了。假如必須檢驗(yàn)甲苯、苯等少量殘留氣，儀器設(shè)備的質(zhì)量范圍限制應(yīng)挑選? M=100u,對氙氣的精確測量必須挑選質(zhì)諧計(jì)的質(zhì)量范圍限制M=150u
(2)分辨本領(lǐng)? 分辨本領(lǐng)是定性分析質(zhì)譜計(jì)辨別質(zhì)量數(shù)M和M+△M2個(gè)鄰近質(zhì)譜峰的工作能力，通? 常見M/△M表明，△M被稱作肯定屏幕分辨率，用質(zhì)量數(shù)M峰的某高寬比處的峰的總寬表明。真空泵質(zhì)譜計(jì)一般在10%或50%峰高空精確測量△M。? 用以極高超濾裝置分壓力精確測量對分辨本領(lǐng)規(guī)定不高，一般△M=1(10%峰? 高)就可以了。為了更好地簡單化定量分析精確測量用峰高意味著該成分抗壓強(qiáng)度，規(guī)定質(zhì)諧計(jì)在質(zhì)量范圍內(nèi)為恒峰寬，即分辨本領(lǐng)△M穩(wěn)定。
(3)分壓力敏感度(敏感度)? 質(zhì)譜計(jì)敏感度界定為：輸出離子流變化量△I除于造成這類轉(zhuǎn)變的汽體分壓力轉(zhuǎn)變值△P。敏感度的表明方式有二種：? 第一種方式選用企業(yè)壓力的離子流表明，企業(yè)為A/Pa,該方式是固定不動一定發(fā)送電流量，數(shù)不勝數(shù)值；? 第二種方式選用企業(yè)搜集電子流和企業(yè)壓力的離子流表明，企業(yè)為1/Pa。? 一般質(zhì)譜計(jì)敏感度和分辨本領(lǐng)、掃描速率等別的主要參數(shù)相關(guān)，因而精確測量質(zhì)譜計(jì)靈? 敏度時(shí)要要求質(zhì)譜計(jì)工作中主要參數(shù)。除此之外，敏感度遭受電級環(huán)境污染、倍增器增益值衰減系數(shù)、燈? 絲部位轉(zhuǎn)變的危害而轉(zhuǎn)變，因此 在開展分壓力精確測量時(shí)，務(wù)必對敏感度開展按時(shí)校? 準(zhǔn)。極高真空泵分壓力精確測量應(yīng)盡可能挑選敏感度高的質(zhì)譜計(jì)。
(4)較少可檢分壓力? 此項(xiàng)指標(biāo)值標(biāo)征質(zhì)譜計(jì)敏感度、離子流檢驗(yàn)、離子流紀(jì)錄等綜合能力。一般用公

式(4-14)來表明。? (4-14)? Pin=2IN/S

式中 Pmi? 較少可檢分壓力? ⅠN—離子流監(jiān)測系統(tǒng)紀(jì)錄到的本底噪音，A;? S質(zhì)譜計(jì)敏感度，A/Pa。? 噪音是由虛報(bào)的輸出標(biāo)示造成的零輸出基準(zhǔn)線的迅速轉(zhuǎn)變，噪音能夠依據(jù)要求進(jìn)
一般質(zhì)諧計(jì)較少可檢分壓力的性能指標(biāo)和正離子搜集方法相關(guān)。選用法拉第筒收? 行檢測? 集和倍增器搜集的質(zhì)譜計(jì)，可得出2個(gè)較少可檢分壓力標(biāo)值：一個(gè)為法拉第正離子收? 集方法下較少可檢分壓力；另一個(gè)為倍增器正離子搜集方法下較少可檢分壓力。增長? 器搜集的較少可
的品質(zhì)分離出來作用、離子源具備一定的正離子產(chǎn)額、鎢絲能夠一切正常工作中，? 壓力關(guān)聯(lián)有很大線形偏移。對用以分壓力精確測量的質(zhì)譜計(jì)，較大 工作中壓力被界定為? 在壓力范疇內(nèi)，離子流與壓力呈線型關(guān)聯(lián)。極高真空泵精確測量質(zhì)問誚計(jì)此項(xiàng)指標(biāo)值規(guī)定不

嚴(yán)苛。
(6)掃描速率? 根據(jù)更改品質(zhì)掃描主要參數(shù)，使質(zhì)譜記到全部質(zhì)量范圍內(nèi)開展品質(zhì)掃描。掃描速率? 可以用單位時(shí)間內(nèi)得到 的質(zhì)量數(shù)(u/s)表明，還可以用掃描一個(gè)品質(zhì)所需時(shí)間? (s/u)來表明。質(zhì)譜計(jì)掃描速率和解析器的工作類型及相對的電子器件操縱路線有非常大? 關(guān)聯(lián)，如航行時(shí)間質(zhì)譜計(jì)是依據(jù)說白了“渡越時(shí)間”的基本原理開展品質(zhì)分離出來的，在老秒? 或更短期內(nèi)內(nèi)，能夠進(jìn)行一次譜峰掃描。而磁偏轉(zhuǎn)真空泵質(zhì)譜計(jì)，品質(zhì)掃描是根據(jù)改
變正離子導(dǎo)入工作電壓完成的，工作電壓值一般為好幾千伏，因而掃描速率不可以太快。四極質(zhì)諧
計(jì)品質(zhì)掃描是根據(jù)更改釋放在電級上高頻率工作電壓幅度值完成的，具備迅速的掃描速率? 作業(yè)者應(yīng)依據(jù)實(shí)際應(yīng)用目地挑選儀器設(shè)備此項(xiàng)指標(biāo)值。
(7)較少可檢濃度值
此項(xiàng)指標(biāo)值是定性分析質(zhì)譜計(jì)對混合氣中可精確測量到某類較少成分的主要參數(shù)，一般用壓? 力成績P小/P全來表明。式中的P為混合氣中某類成分的較少分壓力，p全? 為混合氣的全壓力。在一些獨(dú)特應(yīng)用的場所中，規(guī)定質(zhì)譜計(jì)能得出某類汽體成分? 的摩爾分?jǐn)?shù)或壓力成績(濃度值),如室內(nèi)空間原材料在室內(nèi)環(huán)境排氣特性精確測量中，對一些? 有害物質(zhì)濃度值檢驗(yàn)期待檢驗(yàn)到有害物質(zhì)的摩爾分?jǐn)?shù)低于1×106(1ppm)。這時(shí)儀? 器的使用人應(yīng)將較少可檢濃度值的指標(biāo)值做為關(guān)鍵考慮到根據(jù)。需注意挑選在大正離子峰? 周邊檢驗(yàn)細(xì)微數(shù)據(jù)信號峰具備優(yōu)良作用的儀器設(shè)備
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