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?? 超高真空校準? 超高真空計是超高真空全壓力精確測量的關(guān)鍵專用工具，為了更好地獲得精確的精確測量結(jié)果，必? 須對真空計開展校準以確保在超高真空標準下運用的可信性。除此之外，針對冷陰極電? 離規(guī)的離散系統(tǒng)，雖然生產(chǎn)商作了線形解決，但如果不開展校準仍會產(chǎn)生非常大誤? 差。熱陰極水解規(guī)在線形檢測范圍需要做到測量精度也必須開展校準。校準是在專? 門的超高/極高真空校準系統(tǒng)軟件中開展的。現(xiàn)階段選用的校準系統(tǒng)軟件有：分子結(jié)構(gòu)束法校準系? 統(tǒng)、壓力衰減系數(shù)法校準系統(tǒng)軟件、流導(dǎo)調(diào)制法校準系統(tǒng)軟件和分流法校準系統(tǒng)軟件。? 圖4-12所顯示為選用分流法和壓力衰減系數(shù)法的非常高/超高真空校準設(shè)備，包含：極? 高真空系統(tǒng)軟件、超高真空系統(tǒng)軟件、總流量分流系統(tǒng)軟件和氣路系統(tǒng)軟件。分流法是將已經(jīng)知道總流量汽體? 導(dǎo)入分流室，根據(jù)分流室2個流導(dǎo)相距非常大的小圓孔(流導(dǎo)比約為100:1)分流到? 極高真空校準室和超高真空校準室。在動態(tài)性標準下極高真空校準室的壓力p為：

4-10)? p=QC(1-R)(1+Rc)? 式中Q讓人分流室氣體壓力，Pa·m/? Rn極高真空系統(tǒng)軟件抽真空限定孔返流? C-—極高真空系統(tǒng)軟件抽真空限定孔流導(dǎo)，m3/s;? Rc—分流室分流小圓孔流導(dǎo)比(注入超高真空室小圓孔流導(dǎo)和注入極高真空室? 小圓孔流導(dǎo)之比)

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式中的各主要參數(shù)R、C、Rc均能夠根據(jù)試驗精準測量，Q能夠由精細微蒸汽流量計? 得出。運用校準室壓力能夠?qū)Ρ恍室?guī)開展肯定校準? 在沒有蒸汽流量計的標準下，能夠向分流室充進一定壓力汽體，根據(jù)小圓孔向非常高真? 空校準系統(tǒng)軟件打氣，穩(wěn)定平衡后極高真空校準壓力被衰減系數(shù)為? p=pC1/C(l-Rp

(4-11)? 式中p穩(wěn)定平衡時分流室壓力(規(guī)范壓力規(guī)精確測量),Pa;? 分流室流入校準室小圓孔流導(dǎo)，m3/s;? 該校準設(shè)備的關(guān)鍵性能指標為：校準室極限壓力，極高真空校準室為7.9? 10-0Pa,超高真空校準室為2.3×10-9Pa;校準壓力范疇，分流法2.1×10? 7.9×1010Pa,壓力法2.1×10-4~2.3×10-9Pa;不確定度低于0.41%~3.5%? 運用該設(shè)備對反磁控冷陰極計和熱陰極超高真空計開展校準得出修正系數(shù)和指數(shù)? 壓力曲線圖。校準時間約為7天(包含規(guī)持續(xù)校準2天時間)。? 為了更好地考慮常見的超高真空水解計的校準規(guī)定，一般選用核對的相對性校準方式? 該方式具備校準設(shè)備構(gòu)造簡易、實際操作便捷、校準高效率和應(yīng)用性強等特性。比對法? 超高真空校準設(shè)備如圖4-13所顯示，校準系統(tǒng)軟件選用圓柱型構(gòu)造，由抽制動氣室和校準室? 構(gòu)成，兩室中間選用一個圓洞限定流導(dǎo)。被校規(guī)和參照規(guī)各自安裝在校準室地球赤道線? 的對稱性部位上。參照規(guī)采用IE514分離出來規(guī)，該規(guī)在非常高/超高真空校準設(shè)備上開展? 壓力肯定校準，不確定度1.8%。核對校準系統(tǒng)軟件的性能指標為：校準系統(tǒng)軟件極限壓力? 5×10-9Pa、壓力校準范疇10-7~10-5Pa、拓展不確定度≤10%(k=3)。

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