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在高真空泵地區(qū)內(nèi),當(dāng)真空技術(shù)內(nèi)材料的出氣能夠忽視時(shí),真空室的抽氣計(jì)算時(shí)間與低真空泵抽氣計(jì)算時(shí)間同樣,因?yàn)楦邫C(jī)械泵泵效很大,這段時(shí)間很短。事實(shí)上高真空泵的抽氣時(shí)間關(guān)鍵在于材料出氣
在一開始抽氣的幾十鐘頭內(nèi),材料出氣率是自變量,因此真空室的總出氣量隨抽氣時(shí)間而? 衰減系數(shù)。測(cè)算到達(dá)某一壓力需要的時(shí)間由總出氣量和泵(或發(fā)電機(jī)組)的合理泵效的比率決策般能用查材料出氣率曲線圖和制圖方式開展測(cè)算
比如:測(cè)算抽中壓力p必須的抽氣時(shí)間流程以下。
①測(cè)算真空室均衡壓力為p時(shí)的出氣量Q,其值相當(dāng)于泵(或發(fā)電機(jī)組)在壓力為p時(shí)的排量,即
Q=pS(Pa·L/s)
②測(cè)算真空室中材料面積為A的均值氣速度q,即
q=Q/A[Pa·L/(s:cm2)]
③依據(jù)材料出氣率曲線圖,查出來q的點(diǎn),與此點(diǎn)相對(duì)性應(yīng)的時(shí)間,即是做到均衡壓時(shí)所必須的時(shí)間
測(cè)算舉
碳素鋼制做的真空室置放試驗(yàn)用銅錢,鋼和銅的總面積各為4×104cm2,用合理泵效為103L/s的高真空機(jī)抽氣時(shí),室內(nèi)溫度下需要得到 5×10-Pa必須是多少時(shí)間(漏汽能夠忽視)?
方式:①測(cè)算真空室的均衡壓力為5×10-4Pa時(shí)容許出氣量
Q=pS=5×10-4×103=5×10-(Pa·L/s)
②測(cè)算厚鋼板和銅錢二者的均值出氣率
Q5×10
A8×104? 6.25×10-6[Pa·L,(s·cm2)]=6.25×10-5[Pa·m3/(s
③作碳素鋼和銅錢二者累加后的均值出氣率曲線圖(圖3-10)。
①查趨勢(shì)圖3-10得:出氣率是6.25×106Pa·L/(s·cm2)時(shí)的出氣時(shí)間為0.4lh這一時(shí)間便是所愿的抽氣時(shí)間。
說
①真空室僅有一種材料時(shí),不用作累加曲線圖,只用查出氣率曲線圖就可以
②當(dāng)材料類型許多 時(shí),可將出氣率不大(或總面積不大)的一些材料的出氣忽略

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只需要做幾類出氣率大的材料的出氣率的累加曲線圖,以使
測(cè)算簡(jiǎn)單化? ③當(dāng)材料總面積不一時(shí),可按材料總面積倍率作累加? 線,以上例中,倘若碳素鋼的面積為銅錢總面積的20倍? 碳素鋼出氣率則應(yīng)提升20倍,為此做出累加出氣率曲線圖? (3)幾類典型性真空值抽氣時(shí)間? 真空室內(nèi)壓力降至原始?jí)毫Φ?/2、1/10和? (e=2.718,1/c=0.368)的抽氣時(shí)間用下述計(jì)算公式
降至原始?jí)毫Φ?/2時(shí)的抽氣時(shí)間
V? 6)
降至原始?jí)毫Φ?/10時(shí)的抽氣時(shí)間
10=2.30三秒? (3-17)
圖3-10碳素鋼、銅錢及累加后
的出氣率曲線圖? 降至原始?jí)毫Φ?/e時(shí)的抽氣時(shí)間(稱之為穩(wěn)態(tài)值)? 1一碳素鋼的出氣率12一銅的出氣率
3一累加后的均值出氣率
式中V—真空室的容量,L;
S—泵(或發(fā)電機(jī)組)對(duì)真空室抽氣口的合理泵效,L/s