? 中小型擴(kuò)股互高直空抽氣機(jī)組一般配備有儲(chǔ)氣罐,設(shè)定在擴(kuò)散泵和前級(jí)泵中間,存儲(chǔ)擴(kuò)夏排出來的氣休,設(shè)定儲(chǔ)氣罐的緣故以下? ①因?yàn)楸仨毧拐鸲O(shè)定儲(chǔ)氣罐,超濾裝置工作中時(shí),一些加工工藝全過程規(guī)定嚴(yán)苛抗震,因而? 必須機(jī)械泵在一段時(shí)間內(nèi)停止工作,在這段時(shí)間內(nèi),擴(kuò)散泵排出來的汽體統(tǒng)統(tǒng)存儲(chǔ)在供氣? 中,供氣替代機(jī)械泵保持?jǐn)U散泵一切正常工作中? 這類主要用途的儲(chǔ)氣罐的容積V為
(3-28)式中Q—在機(jī)械泵停止工作的時(shí)間內(nèi)擴(kuò)散泵的排量,PaL/s
—機(jī)械泵停止工作的時(shí)間,也就是規(guī)定儲(chǔ)氣罐工作中的時(shí)間,s
擴(kuò)散泵臨界值前級(jí)壓力,或歷經(jīng)時(shí)間t后,儲(chǔ)氣罐中所容許的較大壓力,Pa
p—機(jī)L械泵工作中時(shí)擴(kuò)散泵的前級(jí)壓力,或t=0時(shí),儲(chǔ)氣罐內(nèi)壓力,Pa? 比如某加工工藝加工過程中,發(fā)電機(jī)組的排量為10-1Pa·L/s,規(guī)定機(jī)械泵正中間停止工作1h? 必須前級(jí)儲(chǔ)氣罐的容積多少?擴(kuò)散泵前級(jí)抗壓取10Pa,一切正常工作中時(shí)前級(jí)壓力為7×10-Pa? 將Q=10-12·L/s,t=3600,p1=10Pa,p=7×10-1Pa帶入公式計(jì)算(328)得

38.7(L)? 10-7×10
②為了更好地減少工作中周期時(shí)間而設(shè)定儲(chǔ)氣罐。一些生產(chǎn)工藝流程規(guī)定不在關(guān)掉擴(kuò)散泵電加熱器的狀況? 下,真空室放入空氣獲得元器件、放料。放料后用機(jī)械泵預(yù)抽真空室,這段時(shí)間內(nèi)運(yùn)用儲(chǔ)氣罐來保持?jǐn)U散泵工作中。? ③為避免 真空室內(nèi)瞬時(shí)速度很多放氣危害擴(kuò)散泵一切正常工作中而設(shè)定儲(chǔ)氣罐。加工工藝生產(chǎn)制造中某? 一段時(shí)間內(nèi)放供氣量尤其大,但時(shí)間較短,若按這時(shí)的較大 排量配機(jī)械泵很不經(jīng)濟(jì)發(fā)展,那樣可? 配備前級(jí)儲(chǔ)氣罐,在較大 放供氣量時(shí)存儲(chǔ)一部分汽體,以防止擴(kuò)散泵前級(jí)壓力超出臨界值前級(jí)壓力。? 前級(jí)儲(chǔ)氣罐體積計(jì)算公式同式(328)。但設(shè)計(jì)方案這類前級(jí)罐時(shí),應(yīng)考慮下邊表達(dá)式

(3-2式中U—儲(chǔ)氣罐到擴(kuò)散泵出入口管路的流導(dǎo),L/s
V儲(chǔ)氣罐容積,L
1—儲(chǔ)氣罐上班時(shí)間,s
p—擴(kuò)散泵臨界值前級(jí)壓力,Pa
p1—發(fā)電機(jī)組一切正常工作中時(shí),擴(kuò)散泵前級(jí)壓力,Pa
④用以平穩(wěn)擴(kuò)散泵出入口壓力而機(jī)器設(shè)備儲(chǔ)氣罐。機(jī)械泵排氣管是單脈沖的,盡管頻率不高(? 般為7次/s上下),也會(huì)造成擴(kuò)散泵出入口壓力的起伏,設(shè)定儲(chǔ)氣罐可降低這類起伏。? (2)預(yù)抽泵? 預(yù)抽泵(粗抽泵)關(guān)鍵用于抽除真空室中的很多汽體,使真空室標(biāo)準(zhǔn)氣壓由1×105Pa降至? 主閥可以起動(dòng)工作中時(shí)的真空值,因而,規(guī)定預(yù)抽泵所做到的壓力低于主閥的起動(dòng)工作中壓力,? 預(yù)抽泵(如機(jī)械泵)的泵效尺寸由粗?jǐn)D時(shí)間決策。從公式計(jì)算(3-15)導(dǎo)出來

v. Pi? Sp-2. 3Kg-Ig-(L/s)? 式中
預(yù)抽泵的為名泵效,L? V真空室容量,? p1開始抽真空時(shí)的真空室壓力,一般為1×105Pa? p主泵起動(dòng)壓力(或預(yù)抽完畢時(shí)壓力),Pa;? 修正系數(shù);? K? t—預(yù)抽泵的抽真空時(shí)間,針對(duì)容量V<1米3,取t=10~20min;中等水平容量V=2? 4m3,取20~30min;大中型容量,即V>5m3的真空室,取t=30~60