? 全無油抽氣系統(tǒng)軟件,濺射離子泵是較普遍一種,它與前邊詳細(xì)介紹的幾類抽氣系統(tǒng)軟件較
大的差別是除開粗抽環(huán)節(jié)以外,一切正常運(yùn)行期內(nèi),被抽氣體沒有排到空氣中去,只是? 存儲(chǔ)在泵內(nèi)的鈦膜中。實(shí)際操作簡(jiǎn)單、無震動(dòng)噪音、無重氮氧化合物環(huán)境污染,若粗抽時(shí)采? 用吸附泵或無油真空泵,不會(huì)有粗抽泵的環(huán)境污染難題,工作中時(shí)不用前面泵,在極高真? 空標(biāo)準(zhǔn)下乃至不用晚間工作人員就能長(zhǎng)期性持續(xù)運(yùn)行,因此普遍用以清潔的中小型超? 高真空泵設(shè)備中。它的關(guān)鍵難題是抽氣容積難題,因?yàn)槠w是以吸附在鈦膜內(nèi)方法? 理論上泵的使用壽命與壓力反比,因而它的長(zhǎng)期性壓力越低,使用壽命越長(zhǎng),工作中? 在102Pa的使用壽命是10-4Pa的使用壽命的百分之一。次之是泵的電磁場(chǎng)難題,必須用以? 對(duì)電磁場(chǎng)有限定的場(chǎng)地,就必須對(duì)其電磁場(chǎng)開展屏蔽掉? 圖5-24所顯示為用以表層科學(xué)研究的濺射離子泵吸附泵構(gòu)成的無油極高超濾裝置? 為了更好地填補(bǔ)濺射離子泵的泵效小、容積比較有限的缺陷,選用濺射離子泵與鈦升華泵構(gòu)成? 抽氣發(fā)電機(jī)組。主閥是鈦升華泵,呼吸面用液態(tài)氮制冷,鈦升華泵可立即裝在真空泵房間內(nèi)? 還可以像圖上所顯示的將鈦升華泵與濺射離子泵串聯(lián)(或串連)在一起。真空系統(tǒng)1? 不銹鋼板做成,直徑450mm,高700Mm,容量100L,法蘭盤選用銅密封圈密封性,粗抽? 三個(gè)碳分子篩泵及無油真空泵。系統(tǒng)軟件用無油真空泵從空氣抽中10~100Pa,隨后啟? 碳分子篩吸附泵預(yù)抽,這類方式較為經(jīng)濟(jì)發(fā)展,而且可以巨大地減少預(yù)擠時(shí)間。還可以? 用碳分子篩泵立即從空氣預(yù)抽,可是必須更大空間的吸附泵,還必須選用二級(jí)或三? 吸附抽氣。二級(jí)吸附抽氣方式是首先用一級(jí)從空氣粗抽中100Pa,關(guān)掉一級(jí)吸附? 再用二級(jí)泵抽中0.4~0.2Pa。三級(jí)吸附抽氣是第一級(jí)抽中3000~5000Pa,第二
抽中15Pa,第三級(jí)抽中0.1Pa。一般當(dāng)真空系統(tǒng)做到時(shí)5×10-1Pa就可以關(guān)掉分子結(jié)構(gòu)? 篩吸附泵起動(dòng)鈦升華泵,當(dāng)真空系統(tǒng)工作壓力減少到5×10-2Pa時(shí)就可以起動(dòng)濺射正離子? 泵。當(dāng)接入濺射離子泵開關(guān)電源時(shí),因?yàn)楸脙?nèi)鈦負(fù)極板遭受離子轟擊排氣,系統(tǒng)軟件工作壓力會(huì)? 上升,這時(shí)用鈦升華泵和碳分子篩吸附泵再次抽氣,直至工作壓力減少到5×10-2Pa。如? 果供氣量很大,短期內(nèi)不可以減少到濺射離子泵一切正常工作中的起動(dòng)工作壓力,為了更好地避免 離子泵? 超溫,就必須關(guān)閉濺射離子泵,直到工作壓力減少之后再度不斷接入和關(guān)掉濺射離子泵? 開關(guān)電源(每一次約5min),直至離子泵的工作電壓減少到2000V上下,才能夠關(guān)閉碳分子篩? 和鈦升華泵,讓濺射離子泵一切正常運(yùn)行。? 在鈦泵工作中期內(nèi),可依據(jù)氣體壓力選用持續(xù)揮發(fā)或時(shí)斷時(shí)續(xù)揮發(fā),一般說來,髙壓? 力下必須持續(xù)揮發(fā),底壓下能夠時(shí)斷時(shí)續(xù)揮發(fā),伴隨著工作壓力減少,時(shí)斷時(shí)續(xù)揮發(fā)間隔時(shí)間能夠? 持續(xù)延長(zhǎng),直到關(guān)掉鈦泵,讓濺射離子泵獨(dú)立工作中。依據(jù)生產(chǎn)流程中的壓力盡? 很有可能讓離子泵工作中在極高真空泵工作壓力下,那樣可以大大的增加離子泵的使用期。? 升華鈦泵和碳分子篩吸附泵實(shí)際操作繁雜,設(shè)備故障率高,還必須具有液態(tài)氮標(biāo)準(zhǔn)。粗抽系? 統(tǒng)改成無油的干試真空泵(爪式真空泵、碳旋片真空泵)和無油分子泵(氣浮機(jī)或磁? 浮分子泵)是處理無油粗抽的較重要途徑? 圖上的超濾裝置典型性的運(yùn)行數(shù)據(jù)信息為:真空系統(tǒng)200℃下烤制3.5h,溫度減少到室? 溫后器皿的真空值為10Pa,抽氣30h后做到的極限工作壓力低于1×10-8