?? ?現(xiàn)階段用以超高真空測(cè)量基本上都釆用相對(duì)性規(guī)測(cè)量基本原理,儀器設(shè)備包含測(cè)量規(guī)和測(cè)量線(xiàn)? 路,測(cè)量規(guī)和真空系統(tǒng)聯(lián)接,規(guī)工作中的各個(gè)工作電壓由測(cè)量電源電路得出,與壓力相關(guān)的電? 數(shù)據(jù)信號(hào)根據(jù)變大及解決并以壓力方式得出。較常見(jiàn)的全壓力測(cè)量計(jì)有BA型以及他? 種類(lèi)的熱陰極超高真空水解計(jì)、冷陰極正磁控管型真空計(jì)和反磁控管型真空計(jì)。為? 了考慮超高真空測(cè)量的特別要求,在測(cè)量?jī)x器設(shè)備挑選、規(guī)的安裝和恰當(dāng)應(yīng)用等層面應(yīng)? 留意下邊好多個(gè)難題。? ①測(cè)量計(jì)的挑選。儀器設(shè)備的壓力測(cè)量范疇?wèi)?yīng)考慮真空系統(tǒng)壓力測(cè)量規(guī)定,尤其? 規(guī)定儀器設(shè)備的測(cè)量低限應(yīng)小于系統(tǒng)軟件的測(cè)量指標(biāo)值規(guī)定。在低限測(cè)量中,儀器設(shè)備務(wù)必具備? 定的測(cè)量精密度和測(cè)量不確定度? ②測(cè)量規(guī)工作中不解決真空得到 產(chǎn)生比較嚴(yán)重危害,尤其應(yīng)考慮到鎢絲排氣、燈? 絲在高溫標(biāo)準(zhǔn)下對(duì)汽體成分的更改等要素,較好是采用超低溫鎢絲? ③為了更好地真正體現(xiàn)被測(cè)處的壓力,壓力規(guī)的安裝應(yīng)盡可能貼近壓力被測(cè)量處,選? 擇直徑大的短管路聯(lián)接,有標(biāo)準(zhǔn)狀況下可采用裸規(guī)。? ④壓力規(guī)應(yīng)能考慮超高真空系統(tǒng)的高溫烤制規(guī)定? ⑤減少被檢測(cè)系統(tǒng)對(duì)規(guī)管測(cè)量產(chǎn)生的危害如:熱傳遞、正離子外擴(kuò)散、干擾信號(hào)等
⑥在被測(cè)壓力持續(xù)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)下,壓力規(guī)具備較長(zhǎng)的使用壽命。? ⑦在非常高真空系統(tǒng)運(yùn)作全過(guò)程中,應(yīng)恰當(dāng)應(yīng)用測(cè)量規(guī),防止規(guī)的排氣危害系統(tǒng)軟件? 的真空得到 ? 除此之外,為了更好地提升 測(cè)量的精確性,務(wù)必對(duì)超高真空計(jì)開(kāi)展校準(zhǔn)。校準(zhǔn)在專(zhuān)用型的極? 高/超高真空校準(zhǔn)系統(tǒng)軟件上開(kāi)展,校準(zhǔn)系統(tǒng)軟件的極限壓力應(yīng)考慮校準(zhǔn)規(guī)定,小于被校規(guī)? 的測(cè)量低限。運(yùn)用動(dòng)態(tài)性立即比對(duì)法開(kāi)展壓力相對(duì)性校準(zhǔn),校準(zhǔn)范疇為10-5~10-7Pa,? 運(yùn)用分離法、壓力衰減系數(shù)等方式完成肯定校準(zhǔn),校準(zhǔn)范疇為10-4~10-9Pa。