氦質(zhì)譜檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極離子儀等組成。

氦質(zhì)譜泄漏檢測儀是一種以氦為泄漏氣體進行泄漏檢測的專用儀器，具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點。在真空泄漏檢測技術(shù)中，采用通用泄漏檢測儀，靈敏度高。

氦質(zhì)譜泄漏檢測器是一種磁偏轉(zhuǎn)質(zhì)譜分析儀。單級磁偏轉(zhuǎn)換器是一種高靈敏度的儀器，廣泛應(yīng)用于檢測各種真空系統(tǒng)和部件的泄漏，具有良好的實用價值。與單層磁偏轉(zhuǎn)裝置相比，背景噪聲明顯降低，靈敏度可達10-14~10-15Pam3/s，適用于超真空系統(tǒng)、部件和部件的泄漏檢測。逆電流氦質(zhì)譜檢漏儀改變了傳統(tǒng)儀器的結(jié)構(gòu)布局，檢驗件放置在檢漏儀主泵的前部，在高壓條件下可檢漏，不會造成液氮污染和質(zhì)譜室污染.適用于大漏率、真空環(huán)境衛(wèi)生差的真空系統(tǒng)檢漏，靈敏度可達10-12Pam3/s。

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