阿特拉斯真空泵的常見類型是什么？

阿特拉斯真空泵是一種非常重要的真空設(shè)備。根據(jù)真空生產(chǎn)原理，可分為體積真空泵（如液體環(huán)泵、螺桿泵、羅茨泵等）；動(dòng)態(tài)傳輸真空泵（如分子泵：噴射真空泵：擴(kuò)散泵）；氣體捕獲真空泵（如鈦升華、鋯鋁合金吸泵、低溫泵濺射離子泵、熱蒸發(fā)鈦升華泵等）。

真空通常由專用抽氣機(jī)獲得，其氣體稀薄度由真空計(jì)測(cè)量。大氣壓力為1×10-14pa高真空度。真空技術(shù)廣泛應(yīng)用于芯片制造、太陽能電池制造、光學(xué)薄膜制造、電真空儀器、電子管等電子儀器。

阿特拉斯真空泵的常見類型是什么？它們各自的發(fā)展趨勢(shì)是什么？

1.水環(huán)真空泵是一種易燃、易爆、腐蝕性氣體、含塵、潮濕氣體的變量泵。本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，維護(hù)方便，磨損小，安全性高，輸送氣體無污染。水環(huán)泵的主要原料是鑄件，加工簡(jiǎn)單，屬于勞動(dòng)密集型產(chǎn)品。因此，與進(jìn)口泵相比，它具有價(jià)格優(yōu)勢(shì)，目前應(yīng)用廣泛。目前，國(guó)內(nèi)生產(chǎn)企業(yè)應(yīng)主要從減肥、體積、能耗、效率等方面提高產(chǎn)品。

旋片式真空泵是真空獲取的基本設(shè)備之一。它是一種油封機(jī)械真空泵，適用于真空包裝、真空成型、真空吸入等封閉系統(tǒng)中的氣體提取，具有體積小、重量輕、噪音低、真空度高的優(yōu)點(diǎn)。旋葉泵技術(shù)上已達(dá)標(biāo)，價(jià)格遠(yuǎn)低于進(jìn)口泵，具有一定的競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。需要解決的主要問題是葉片材料、軸封漏油等，以及抽汽葉片泵的開發(fā)。

3.滑閥真空泵是一種油密封變量真空泵，可用于提取含有少量氣體的普通氣體或冷凝氣體。與旋片泵相比，工作壓力高(104pa)、抽氣量大，在惡劣條件下使用，經(jīng)久耐用。主要用于真空熔煉、真空干燥、真空浸漬、真空蒸餾等領(lǐng)域。由于鑄造工作量大，加工工作量大，許多外國(guó)制造商希望與國(guó)內(nèi)真空泵企業(yè)合作。為了加快進(jìn)口產(chǎn)品的更新，國(guó)產(chǎn)滑油泵需要優(yōu)化其產(chǎn)品，以減少振動(dòng)和噪音，防止噴油和漏油。

4.干式螺旋真空泵是阿特拉斯真空泵系列下的一種新型設(shè)備，具有可靠性高、使用壽命長(zhǎng)、動(dòng)平衡性能好、適應(yīng)性強(qiáng)、多相混輸?shù)忍攸c(diǎn)。它能去除腐蝕性、有毒性、含塵氣體和冷凝蒸汽。干泵廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)、化工、薄膜工業(yè)等，這三個(gè)行業(yè)的需求是推動(dòng)干泵市場(chǎng)的主要?jiǎng)恿?。在歐美半導(dǎo)體行業(yè)，約有一半的企業(yè)使用干式真空泵代替油封機(jī)械泵。進(jìn)口干式泵主要用于我國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)。因此，應(yīng)加強(qiáng)國(guó)內(nèi)干式真空泵的研發(fā)，使其成為我國(guó)真空產(chǎn)業(yè)新的經(jīng)濟(jì)增長(zhǎng)點(diǎn)。